CCD芯片自动计数机
CCD计数是通过摄像头采集成品片芯粒图像,通过软件进行计算芯粒数量,操作简便,计数准确
一、设备功能
软件功能
1、自动寻框是否正常使用
2、管理员密码权限登入才能设置参数档
3、支持无背镀计数等各种规格晶粒
4、计数前后原图档自动保存,并可设置存储路径
5、缩略图功能
6、与MES、标签系统数据通讯集成等
7、模板拼配和深度学习结合识别不同ID的芯粒,可识别3*0.43um大小芯粒;
可作业产品范围
1、计数范围 Max:Circle--- Diameter 250mm;
2、晶粒大小 3*5mil~40*40mil及3.4*5.47mil以上;
3、计数误差率
(1)、3*5mil-11*30mil(直径方片排列,误差不超过两颗,连续量测十次)
(2)、11*30mil以上,(8CM直径方片排列不得有误差,连续量测十次)
(3)、下列状况可以排除或不列入计数误差范围:①晶粒外观需完整,不列入计数误差之项目:颜异、缺电极、变晶、缺角、立晶、选晶、过度偏移等现象;②晶粒之清洁度不佳(Particle)
(4)、下列状况排除或不列入计数误差范围: ①晶粒外观需完整,不列入计数误差之项目:颜异、缺电极、变晶、缺角、立晶、选晶、过度偏移等现象;②晶粒之清洁度不佳(Particle)
(5)适用芯片厚度范围:100um~900um
硬件能力
(1)相机像素:2500万像素,5000*5000,大靶面,正方形(其他像素可选);
(2)扫描平台:移动范围300*300mm,客制化的多种移动方式,能有效提高不同片源芯粒分布不均的问题(多种运动范围可选);
(3)自动对焦:独有的自动对焦系统,克服高分辨率大尺寸WAFER需要多次对焦问题;
(4)镜头:多工位设计,每个工位配备不同的镜头,最高光学解析度;0.42um
注:
(1)不同倍率下图形光学分辨率:5X:2um\10X:1.1um\20X:0.7um\50X:0.41um
(2)可根据需求提供定制化服务;